半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法有哪些？
2021-11-24 15:58:23
半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法有哪些？廢氣處理可謂是很多工廠老生常談的話題了，同時(shí)對(duì)于部分特殊的廢氣，國家也有相關(guān)法律要求強(qiáng)制處理。廢氣處理既是保護(hù)我們居住的環(huán)境，同時(shí)也減少了對(duì)人類身體健康的危害。小編今天就和大家一起聊聊幾種半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法。
一、半導(dǎo)體酸堿廢氣處理方法
半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣處理通常采用液體噴淋法，又稱化學(xué)洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn)，故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
二、半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理方法
半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法，通常先用沸石轉(zhuǎn)輪對(duì)VOCs進(jìn)行吸附濃縮之后，再用直接燃燒法進(jìn)行銷毀，廢氣凈化率達(dá)到97%以上。
三、直接燃燒
直接燃燒又稱為直接火焰燃燒，它是把VOCs可燃組分直接燒掉，因此該方法適用于凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣，或者凈化有害組分燃燒時(shí)熱值較高的廢氣；多種可燃?xì)怏w或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中，只要濃度值適宜，也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高于燃燒上限，可以混入空氣后燃燒；如果可燃組分的濃度低于燃燒下限，則可以加入一定數(shù)量的輔助燃料如天然氣等，維持燃燒。